干涉仪原理 目录 干涉仪配置图
轻便型激光干涉仪: F601
可实现对平面板平面度、球面面精度、曲率半径的高精度测定。
激光干涉仪光圈检查装置: F601FC
检查光圈数目的专用仪器,最初用标准器调整后,接着只需要装上镜片即可方便地完成测定,大幅度削减检查成本。
激光干涉仪光圈检查装置: F601FCⅡ
与其他F601系列干涉仪可互换镜头,是F601FC的简化版,测量范围广,性价比高。
激光干涉仪: G102
适用于较大口径的平面板平面度测定,较大口径、曲率半径的球面面精度、曲率半径测量。
条纹分析系统
采用位相移动法进行测量,能够将表面形状数值化、视觉化、测量重复性好。同时,还有专门为F301系列干涉仪配置使用的FT-10(傅立叶变换法)条纹分析系统。
附件
选择合适的附件,进一步提高使用便利性。
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